ICP-MS GCMS~分子泵日常15點(diǎn)易發(fā)故障和解決方法
應(yīng)用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向活動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線的映照,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng),無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能取得清潔的超高真空。渦輪分子泵普遍用于高能加速器、可控?zé)岷朔错懓惭b、重粒子加速器和高級(jí)電子器件制造等方面。
15點(diǎn)易發(fā)故障和解決方法如下:
1、為什么分子泵是半熱半冷的?
原因:附近有陽(yáng)光或其他熱源
解決方案:避免光或熱源
2、分子泵使用過(guò)程中油變黑。 為什么油會(huì)變黑? 或者油變黑需要多長(zhǎng)時(shí)間?
原因:散熱不好,負(fù)載過(guò)大
解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng)
3、分子泵運(yùn)行過(guò)程中,頻率從正常下降到一定頻率,然后恢復(fù)正常,再下降到一定頻率,再恢復(fù)正常,反復(fù),更換后現(xiàn)象依舊 電源,是什么現(xiàn)象? 解釋?
原因:負(fù)載過(guò)大,系統(tǒng)真空度不夠
解決方法:檢查系統(tǒng)
4、分子泵軸承為什么會(huì)燒壞?
原因: ① 缺乏定期維護(hù) ② 冷卻不良導(dǎo)致過(guò)熱 ③ 未及時(shí)更換油 ④ 抽出的氣體中含有大量灰塵
解決方法:①及時(shí)保養(yǎng) ②檢查冷卻系統(tǒng) ③及時(shí)換油 ④隔離灰塵
5. 有了防護(hù)網(wǎng)的保護(hù),為什么還有大塊的碎玻璃掉進(jìn)泵里?
原因:防護(hù)網(wǎng)壞了,前管路壞了
解決方案:優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)
6、真空度很好時(shí),為什么分子泵油會(huì)回到前級(jí)管路?
原因:油池破裂或密封不良
解決方法:檢查油池
7、在正常使用下,分子泵油池為什么會(huì)出現(xiàn)裂紋或變形?
原因:過(guò)熱、重載
解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查系統(tǒng)
8、頂絲、螺絲等物件經(jīng)常掉出分子泵,如M5的頂絲。 是否影響分子泵的使用? 如何解決?
原因:應(yīng)該是偶爾的事情,可能是天平中漏掉了一個(gè)天平栓,對(duì)分子泵沒(méi)有影響。
解決方法:應(yīng)該是偶爾的事情,可能是天平上少了天平釘,對(duì)分子泵沒(méi)有影響。
9. 皮圈分子泵卡鉗用幾把,使用安全嗎?
答:沒(méi)有特別限制,根據(jù)法蘭尺寸至少可以選擇3、3、6、12、24等
10、逆變電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或混亂?
答:①電壓不穩(wěn)定②強(qiáng)干擾③高壓點(diǎn)火④想解密
11、如何定義分子泵的噪聲? 有資格標(biāo)準(zhǔn)嗎?它是什么?
答:72db以下合格,噪聲大小沒(méi)有明確定義,需要專用設(shè)備和特定的測(cè)試環(huán)境
12、分子泵對(duì)冷卻有明確的要求嗎? 空氣冷卻所需的外部溫度是多少? 如果是水冷,對(duì)水的具體要求是什么? 如果不滿足要求會(huì)有什么后果?
A:注意水溫和水流。 冷卻不良會(huì)導(dǎo)致無(wú)端停機(jī)、泵壞、油變黑等。
13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題。 最好的方法應(yīng)該是什么?
答:電源本身有接地線,只要保證城網(wǎng)接地良好即可; 屏蔽主要是指對(duì)強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)輻射的屏蔽。
14、變頻器電源在轉(zhuǎn)速上升時(shí)會(huì)自動(dòng)關(guān)機(jī),即顯示“Poff”?
答:原因:電壓低
15、分子泵葉片折斷是什么原因?
答:分子泵轉(zhuǎn)子和定子壞的原因有很多,可以總結(jié)如下:
①、誤操作; 比如突然的真空破壞,因?yàn)檗D(zhuǎn)子和定子葉片之間的間隙很小,如果葉片的材料比較薄或比較軟,突然的空氣阻力會(huì)導(dǎo)致葉片變形,可能會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子和定子 要變形。 它們之間的摩擦,導(dǎo)致破損。
②、是異物掉入; 不裝過(guò)濾網(wǎng)肯定不行,掉進(jìn)去的東西不一定要大,但是硬度夠的話會(huì)造成損壞,光是刀刃就會(huì)有鋸齒, 重將被擊中。 破碎的葉子。 因此,目前的設(shè)備制造商在安裝分子泵時(shí)盡量將分子泵呈90度角或倒置安裝,以免異物掉入其中。
③電壓不穩(wěn)定,尤其是磁懸浮分子泵。
④。 前級(jí)泵效率差; 我們知道,腔體中的大部分氣體首先被前級(jí)泵抽出,直到真空度達(dá)到一定水平,分子泵才會(huì)啟動(dòng)。 如果前級(jí)泵效率差,分子泵會(huì)比較費(fèi)力,啟動(dòng)速度慢,抽氣時(shí)間長(zhǎng),電流大,分子泵溫度升高。
⑤。 維護(hù)時(shí)分子泵的動(dòng)平衡沒(méi)有做好,這是技術(shù)的關(guān)鍵。 動(dòng)平衡不良導(dǎo)致振動(dòng)大,泵送效率差,易造成軸承零件過(guò)度磨損。
⑥。 軸承部分沒(méi)有使用原廠標(biāo)準(zhǔn)軸承,效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)。